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磷酸
電子級磷酸

化學分子式: H3PO4

CAS 編號: 7664-38-2

用途: 主要用于半導體分離器件作清洗劑和蝕刻劑,廣泛應用于大規模集成電路。1、基片涂膠前的清洗;2、光刻過程中的蝕刻和最終去膠; 3、硅片本身制作過程中的清洗和絕緣膜蝕刻、半導體膜蝕刻、導體膜蝕刻、有機材料蝕刻等。

包裝: 20L/200L 聚乙烯塑料桶、1000L IBC罐

項目

指標

E1

E2

E3/E4

外觀

無色、無臭、黏稠狀液體

磷酸(H3PO4)質量分數(85%)/(%)

85~87

85~87

85~87

易氧化物(以H3PO3計)質量分數/%         ≤

0.005

0.001

0.001

硝酸鹽(NO3-)質量分數/(mg/kg)        ≤

5

0.5

0.5

硫酸鹽(SO42-)質量分數/(mg/kg)        ≤

10

5

5

氯化物(Cl-)質量分數/(mg/kg)       ≤

1

0.5

0.2

鋁(Al)質量分數/(μg/kg)              ≤

200

50

硼(B)質量分數/(μg/kg)               ≤

50

銻(Sb)質量分數/(μg/kg)              ≤

3000

300

砷(As)質量分數/(μg/kg)             ≤

100

20

鋇(Ba)質量分數/(μg/kg)            ≤

100

20

鎘(Cd)質量分數/(μg/kg)            ≤

100

20

鈣(Ca)質量分數/(μg/kg)            ≤

1000

50

鉻(Cr)質量分數/(μg/kg)             ≤

100

20

鈷(Co)質量分數/(μg/kg)              ≤

100

20

銅(Cu)質量分數/(μg/kg)             ≤

50

20

鎵(Ga)質量分數/(μg/kg)            ≤

100

10

金(Au)質量分數/(μg/kg)             ≤

100

10

鐵(Fe)質量分數/(μg/kg)              ≤

300

50

鉛(Pb)質量分數/(μg/kg)             ≤

100

20

鋰(Li)質量分數/(μg/kg)             ≤

100

10

鎂(Mg)質量分數/(μg/kg)             ≤

100

20

錳(Mn)質量分數/(μg/kg)             ≤

100

20

鎳(Ni)質量分數/(μg/kg)             ≤

100

20

鉀(K)質量分數/(μg/kg)              ≤

100

20

銀(Ag)質量分數/(μg/kg)             ≤

100

20

鈉(Na)質量分數/(μg/kg)            ≤

500

50

錫(Sn)質量分數/(μg/kg)             ≤

10

鍶(Sr)質量分數/(μg/kg)             ≤

100

20

鈦(Ti)質量分數/(μg/kg)            ≤

100

50

鋅(Zn)質量分數/(μg/kg)             ≤

100

50

顆粒(粒徑,數量)/(μm,pcs/mL)

注:E3/E4等可按客戶需求進行個性化定制;“-”表示定制指標,規格單位為ppb或ppt。

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